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上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1985 [1]
学科主题
Electroche... [1]
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共1条,第1-1条
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发表日期:1985
专题:上海微系统与信息技术研究所
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A NEW TECHNOLOGY FOR MAKING THE SIO2 MASK WITH SUB-MICRON GROOVES ON GAAS SUBSTRATES
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1985, 卷号: 132, 期号: 9, 页码: C404-C405
CHEN,XG
;
REN,ZX
;
XU,SH
;
PAN,HZ
;
YANG,J
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提交时间:2012/03/25