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上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1991 [1]
学科主题
Materials ... [1]
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共1条,第1-1条
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发表日期:1991
专题:上海微系统与信息技术研究所
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第一作者单位
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PROPERTIES AND STRUCTURE OF SILICON-NITRIDE FILMS SYNTHESIZED BY ION-BEAM-ENHANCED DEPOSITION
期刊论文
OAI收割
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 1991, 卷号: 46, 期号: 2, 页码: 227-232
LIU, XH
;
YU, YH
;
ZHENG, ZH
;
HUANG, W
;
Zou, SC(邹世昌)
;
JIN, ZQ
;
CHANG, M
;
XU, SL
;
TANIGUCHI, S
;
SHIBATA, T
;
NAKAMURA, K
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提交时间:2012/03/25