机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 成果 [1]

发表日期

• 2014 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2014    内容类型：成果    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 高精度微纳结构掩模制造核心技术 成果  OAI收割 2014 主要完成人:  刘明;  谢常青;  叶甜春;  陈宝钦;  卞福良   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/09/07