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长春光学精密机械与物... [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2017 [3]
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共3条,第1-3条
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发表日期:2017
专题:长春光学精密机械与物理研究所
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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System
期刊论文
OAI收割
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:
Wang, W.
;
Bayanheshig
;
M. Pan
;
Y. Song and W. Li
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提交时间:2018/06/13
Weighted iterative algorithm for beam alignment in scanning beam interference lithography
期刊论文
OAI收割
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 31
作者:
Song, Y.
;
W. Wang
;
S. Jiang
;
Bayanheshig and N. Zhang
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提交时间:2018/06/13
Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System
期刊论文
OAI收割
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:
Wang, W.
;
S. Jiang
;
Y. Song and Bayanheshig
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提交时间:2018/06/13