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  • 期刊论文 [2]
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  • 2020 [2]
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Grating-based precision measurement system for five-dimensional measurement 期刊论文  OAI收割
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 1, 页码: 189-202
作者:  
Q. Lv,W. Wang,Z.-W. Liu,Y. Song,S. Jiang,L. Liu,Bayanheshig and W.-H. Li
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Heterodyne period measurement in a scanning beam interference lithography system 期刊论文  OAI收割
Applied Optics, 2020, 卷号: 59, 期号: 19, 页码: 5830-5836
作者:  
S. Jiang,B. Lu,Y. Song,Z. W. Liu,W. Wang,L. Shuo and Bayanheshig
  |  收藏  |  浏览/下载:29/0  |  提交时间:2021/07/06