机构

• 上海微系统与信息技术... [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2003 [1]
• 2002 [1]

学科主题

• Applied [2]
• Physics [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：Applied    学科主题：Physics    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 sp(3)/sp(2) ratio in amorphous-carbon thin film by spectroscopic ellipsometry 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2003, 卷号: 94, 期号: 1, 页码: 284-287 Li,WJ; Song,ZR; Yu,YH; Wang,X; Zou,SC; Shen,DS 收藏  |  浏览/下载：54/0  |  提交时间：2012/03/24 DIAMOND-LIKE CARBON  COMPRESSIVE-STRESS   Tetrahedral amorphous-carbon thin films for silicon-on-insulator application 期刊论文  OAI收割 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2002, 卷号: 80, 期号: 5, 页码: 743-745 Song,ZR; Yu,YH; Li,CL; Zou,SC; Zhang,FM; Wang,X; Shen,DS; Luo,EZ; Sundaravel,B; Wong,SP; Wilson,IH 收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2012/03/24 DIAMOND-LIKE CARBON  COMPRESSIVE-STRESS  ION  ENERGY