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西安光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2012 [1]
学科主题
materials ... [1]
metallurgy... [1]
multidisci... [1]
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浏览/检索结果:
共1条,第1-1条
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学科主题:metallurgy & metallurgical engineering
学科主题:multidisciplinary
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The Characterization of Sputtered Zr-Ge-N Thin Films as Diffusion Barriers Between Copper and Silicon
期刊论文
OAI收割
rare metal materials and engineering, 2012, 卷号: 41, 期号: s1, 页码: 120-123
作者:
Yang, J. J.
;
Liu, B.
;
Liao, X. D.
;
Jiao, G. H.
;
Xu, K. W.
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提交时间:2012/09/07
Zr-Ge-N films
diffusion barrier
micro-structural
thermal stability