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一种金属微结构及其制作方法 专利  OAI收割
专利号: CN105858591, 申请日期: 2016-01-01, 公开日期: 2016
作者:  张天冲;  伊福廷;  王波;  刘静;  张新帅
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一种用于软X射线曝光的掩膜的制备方法 专利  OAI收割
专利号: CN105511219, 申请日期: 2016-01-01, 公开日期: 2016
作者:  刘静;  伊福廷;  张天冲;  王波;  张新帅
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一种改善光刻胶脱落的方法 专利  OAI收割
专利号: CN105428221, 申请日期: 2016-01-01, 公开日期: 2016
作者:  刘静;  伊福廷;  张天冲;  王波;  张新帅
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一种在金刚石压砧上制备金属电极的方法 专利  OAI收割
专利号: CN105261555, 申请日期: 2016-01-01, 公开日期: 2016
作者:  刘静;  伊福廷;  李延春;  张天冲;  王波
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一种制作选择性纳米织构化硅光电池的方法 专利  OAI收割
专利号: CN105006495, 申请日期: 2015-01-01, 公开日期: 2015
作者:  刘静;  伊福廷;  张天冲;  王波;  张新帅
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一种硅片表面倒金字塔结构的制备方法 专利  OAI收割
专利号: CN104538283, 申请日期: 2015-01-01, 公开日期: 2015
作者:  刘静;  伊福廷;  张天冲;  王波;  张新帅
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一种硅片表面纳米孔结构的制备方法 专利  OAI收割
专利号: CN104528631, 申请日期: 2015-01-01, 公开日期: 2015
作者:  刘静;  伊福廷;  张天冲;  王波;  张新帅
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