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力学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2007 [1]
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Thickness and component distributions of yttrium-titanium alloy films in multi-electron-beam physical vapor deposition
会议论文
OAI收割
Vacuum Metallurgy and Surface Engineering, Proceedings/真空冶金与表面工程——第八届真空冶金与表面工程学术会议, Shenyang, PEOPLES R CHINA, JUN 16-19, 2007
作者:
Li SH(李帅辉)
;
Shu YH(舒勇华)
;
Fan J(樊菁)
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提交时间:2016/06/28
electron beam physical vapor deposition
thin film
thickness and species distributions
vapor atom
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