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GaAs/AlGaAs半導体構造のミラーファセットをエッチングする方法 专利  OAI收割
专利号: JP2711336B2, 申请日期: 1997-10-31, 公开日期: 1998-02-10
作者:  
ペーテル·ブーフマン;  ハンス―ペーテル·デイードリツヒ;  ペーテル·フエイガー
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