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氧化膜应力改变的双面氧化弯曲测量技术 专利  OAI收割
申请日期: 2002-09-18, 公开日期: 2013-06-19
李美栓; 李铁藩; 华伟刚 辛丽 沈嘉年 周龙江
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2013/06/19