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长春光学精密机械与物... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
专利 [2]
发表日期
2006 [1]
2005 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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离子注入机 (发明)
专利
OAI收割
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2006-10-25, 公开日期: 2006-10-25
付国柱
;
邵喜斌
;
荆海
;
廖燕平
;
高文涛
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史辉琨
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提交时间:2012/08/29
多晶硅薄膜晶体管离子注入机 (实用新型)
专利
OAI收割
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2005-01-19, 公开日期: 2005-01-19
付国柱
;
邵喜斌
;
荆海
;
廖燕平
;
高文涛
;
史辉琨
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提交时间:2012/08/29