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西安光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2021 [1]
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电子束蒸发球面夹具系统膜厚均匀性的研究
期刊论文
OAI收割
激光与光电子学进展, 2021, 卷号: 58, 期号: 5
作者:
潘永刚
;
刘政
;
王奔
;
张四宝
;
吕辰瑞
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提交时间:2021/07/19
薄膜
均匀性
电子束蒸发
球面夹具
修正挡板