机构

• 微电子研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 专利 [1]
• 成果 [1]

发表日期

• 1990 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 1微米LSI中TiSi2TaSi2/N+多晶硅复合结构RIE腐蚀研究 成果  OAI收割 1990 主要完成人:  赵玉印;  徐秋霞;  周锁京;  冯淑敏   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2018/09/06 用于射频横向扩散场效应晶体管的自对准硅化物方法 专利  OAI收割 专利号: CN200410035088.7, 公开日期: 2005-11-02 作者:  韩郑生;  杨荣;  李俊峰;  海潮和;  徐秋霞   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/11/26