机构

• 电子学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 MEMS中的微组装技术 期刊论文  OAI收割 新技术新工艺, 2005, 期号: 1, 页码: 24-26 孙红光，夏善红，张建刚 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/09/02 MEMS 微组装 尺寸效应 粘附作用