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长春光学精密机械与物... [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2021 [1]
2020 [2]
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共3条,第1-3条
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变步长搜索的计算全息图编码方法
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 02, 页码: 368-374
作者:
邱宏伟
;
金春水
;
于杰
;
刘钰
;
张海涛
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提交时间:2022/06/29
Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
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提交时间:2021/07/06
原子与分子物理学
分子动力学
反射
再溅射
Mo/Si原子
角度分布
能量分布
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
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浏览/下载:63/0
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提交时间:2021/07/06
薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度