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多層エピタキシャル成長結晶の製造装置 专利  OAI收割
专利号: JP1995330485A, 申请日期: 1995-12-19, 公开日期: 1995-12-19
作者:  
大木 一宏;  富塚 雄二;  大室 彰男;  山下 誠治;  梶本 淳
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