机构

• 兰州化学物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 1995 [1]

学科主题

• 材料科学与物理化学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 工艺因素对离子束增强沉积氮化硅薄膜组成与结构的影响 期刊论文  OAI收割 摩擦学学报, 1995, 卷号: 15, 期号: 2, 页码: 97-103 庄大明; 刘家浚; 李文治; 朱宝亮; 张绪寿; 张平余 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/07/09 离子束增强沉积  陶瓷  薄膜  化学组成  晶体结构  单晶硅  52100钢  ion beam enhanced deposition  ceramics  thin film  chemical composition  crystal structure  single crystal silicon  52100 steel