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耐反应离子刻蚀的紫外激光光致抗蚀剂的研究 期刊论文  OAI收割
激光杂志, 1994, 期号: 02
金桂林; 金晓英; 施善定; 蔡根寿; 黄均文
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2012/03/29