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二硼化物单晶衬底与使用它的半导体装置及其制造方法 专利  OAI收割
专利号: CN1678772A, 申请日期: 2005-10-05, 公开日期: 2005-10-05
作者:  
大谷茂树;  木下博之;  松波弘之;  须田淳;  天野浩
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