机构

• 电子学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 一种扭摆式硅微机械加速度传感器 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2006, 卷号: 25, 期号: 8, 页码: 85-88 毋正伟，陈德勇，杨苗苗，徐磊 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/09/02 加速度传感器 体硅工艺 电容式 阳极键合 微机电系统