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• 上海微系统与信息技术... [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]
• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于塑性变形的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2008, 期号: 03 池积光; 车录锋; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/01/06 InGaAs/InAlAs  湿法腐蚀  异质结   基于硅塑性变形的自对准垂直梳齿驱动器的制作工艺研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 池积光   收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/03/06 梳齿驱动  垂直驱动  塑性变形  自对准  KOH各向异性腐蚀