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• 光电技术研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2015 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 MEMS静电驱动器的场致电子发射效应研究 期刊论文  OAI收割 半导体光电, 2015, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 925-929+935 作者:  汪为民,王强,邱传凯等 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/22 MEMS  静电驱动器  场致电子发射  场增强因子  名义发射面积  可靠性   基于静电平行板驱动器的MEMS变形镜特性分析 期刊论文  OAI收割 半导体光电, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 704-707 作者:  汪为民,王强,邱传凯等 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/22 MEMS  静电平行板驱动器  变形镜  弹性系数