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金属研究所 [2]
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OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
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2002 [2]
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管道热丝CVD金刚石膜反应器温度场的数值计算
期刊论文
OAI收割
人工晶体学报, 2002, 期号: 6, 页码: 576-582
汪爱英,纪爱玲,邹友生,孙超,黄荣芳,闻立时
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提交时间:2012/04/12
热丝化学气相沉积
金刚石膜
温度场
模拟计算
管道热丝CVC金刚石膜反应器温度场的数值计算
期刊论文
OAI收割
人工晶体学报, 2002, 卷号: 31, 期号: 6, 页码: 576-582
作者:
汪爱英
;
纪爱玲
;
邹友生
;
孙超
;
黄荣芳
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提交时间:2021/02/02
热丝化学气相沉积
金刚石膜
温度场
模拟计算