机构

• 金属研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2002 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2002, 期号: 3, 页码: 251-255 沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/04/12 TMAH  粗糙度  腐蚀速率  各向异性。