机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 1999 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 大面积平坦金刚石薄膜的制备和图形化 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1999, 期号: 04 张志明; 沈荷生; 何贤昶; 万永中; 杨艺蓉; 任琮欣 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 金刚石薄膜  平坦表面  离子束刻蚀