机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 化学气相淀积在集成电路制造后段工艺中的应用 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2005, 期号: 11 易万兵; 涂瑞能; 张炳一; 吴谨; 毛杜立; 邹世昌 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2012/01/06 微系统  进展  产业化  发展战略