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一种用于二次真空系统的机械安全阀 专利  OAI收割
专利号: 200620079440.1, 申请日期: 2007-09-26, 公开日期: 2007-09-26, 2010-06-24
游志明、吴德忠、牛志伟、聂增森、马向利、郝超英、杨晓天
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置于真空室和分子泵、油封机械泵间的半导体冷阱装置 专利  OAI收割
专利号: 200520078816.2, 申请日期: 2005-05-18, 公开日期: 2006-09-06, 2010-06-24
游志明、马向利、聂增森、牛志伟、郝超英、杨晓天
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