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一种基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器及其制作方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN 102163531A, 申请日期: 2011-01-01,
作者:  
程玉鹏 陈池来 孔德义 李庄 刘英 殷世平 赵贵 赵聪 孙文娟 钱玉洁 王电令 刘友江 陈然 段秀华
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