机构

• 电子学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2002 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 微梁结构热偶微波功率传感器芯片的制作工艺 期刊论文  OAI收割 传感器技术, 2002, 卷号: 21, 期号: 11, 页码: 31-33 者文明，崔大付，陈德勇，王利，王蕾 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2010/09/02 热偶 微波功率 微梁结构热偶微波功率传感器 MEMS工艺