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热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: 8, 页码: 866-870
范兆岩,崔大付,陈德勇,高晓童
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一种半岛型结构谐振梁压力传感器 期刊论文  OAI收割
微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 464-466
陈德勇,崔大付,高晓童,范兆岩,王利
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2010/09/02