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• 长春光学精密机械与物... [4]

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• 期刊论文 [4]

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• 2016 [2]
• 2015 [1]
• 2014 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种光机系统结构稳定性评估方法 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128 作者:  郭本银;  谢耀;  于杰;  王丽萍;  苗亮   |  收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2017/09/17 测量  长期稳定性  敏感矩阵  奇异值分解   微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2016, 期号: 1 作者:  谢耀;  王丽萍;  郭本银;  王君;  苗亮 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2017/09/17 成像系统  微缩投影系统  垂轴放大率测量  点衍射干涉仪  离焦   六自由度微动并联机器人工作空间分析 期刊论文  OAI收割 长春理工大学学报(自然科学版), 2015, 期号: 04, 页码: 1-5 作者:  郭本银;  刘钰;  苗亮 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/07/06 并联机器人  工作空间  数值法  逆解   极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150 作者:  王丽萍;  金春水;  喻波;  郭本银 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2015/04/17 成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒