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上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1981 [1]
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硅表面二氧化硅的氩离子溅射产额的测定
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术, 1981, 期号: 04
王迅
;
林荣富
;
吴则嘉
;
钮成法
;
罗兴华
;
董锡威
;
高培德
;
章纯思
;
张永福
;
包伟国
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提交时间:2012/03/29