机构

• 金属研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2013 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 放电气体对ECR-PECVD法制备微晶硅薄膜的影响 期刊论文  OAI收割 材料研究学报, 2013, 期号: 3, 页码: 307-311 程华; 钱永产; 薛军; 吴爱民; 石南林 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/12/25 材料合成与加工工艺  微晶硅薄膜  ECR-PECVD  放电气体