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光集積回路モジュール、このモジュールに用いる光学ベンチ、及び光集積回路モジュールの作製方法 专利  OAI收割
专利号: JP2009237326A, 申请日期: 2009-10-15, 公开日期: 2009-10-15
作者:  
阿久津 剛史;  奈良 一孝;  長谷川 淳一
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