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微机械陀螺DRIE刻蚀过程中的局域掩膜效应 期刊论文  OAI收割
传感技术学报, 2010, 期号: 08
冷悦; 焦继伟; 张颖; 顾佳烨; 颜培力; 宓斌玮
收藏  |  浏览/下载:49/0  |  提交时间:2012/01/06