机构

• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2021 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Centimeter-scale low-damage micromachining on single-crystal 4H-SiC substrates using a femtosecond laser with square-shaped Flat-Top focus spots 期刊论文  OAI收割 CERAMICS INTERNATIONAL, 2021, 卷号: 47, 期号: 16, 页码: 23134-23143 作者:  Long, Jiangyou;   Peng, Qingfa;   Chen, Gaopan;   Zhang, Yuliang;   Xie, Xiaozhu;   Pan, Guoshun;   Wang, Xiaofeng   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2022/05/18