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机构
上海技术物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
专利 [1]
发表日期
2012 [1]
学科主题
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共1条,第1-1条
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一种用于晶体等温气相外延工艺的石英容器
专利
OAI收割
专利号: 201110063540.0, 申请日期: 2012-01-01, 公开日期: 2013-01-14
作者:
1王仍 2李向阳 3 林杏潮 4张莉萍 5张可峰 6焦翠灵 7陆液 8 邵秀华 9 陆荣
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提交时间:2013/01/14