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机构
半导体研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2011 [1]
学科主题
半导体物理 [1]
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共1条,第1-1条
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Highly Reproducible Nanolithography by Dynamic Plough of an Atomic-Force Microscope Tip and Thermal-Annealing Treatment
期刊论文
OAI收割
ieee transactions on nanotechnology, IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY, 2011, 2011, 卷号: 10, 10, 期号: 1, 页码: 53-58, 53-58
作者:
Lu XF
;
Balocco C
;
Yang FH
;
Song AM
;
Lu, XF, Univ Manchester, Sch Elect & Elect Engn, Manchester M13 9PL, Lancs, Englandxiaofeng.lu@manchester.ac.uk
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提交时间:2011/07/05
Atomic-force microscope (AFM)
nanolithography
self-switching diodes (SSDs)
2-D electron gas
CONDUCTING POLYMER-FILMS
NANOMETER-SCALE
LITHOGRAPHY
FABRICATION
SURFACES
DEVICES
NANOSTRUCTURES
Atomic-force Microscope (Afm)
Nanolithography
Self-switching Diodes (Ssds)
2-d Electron Gas
Conducting Polymer-films
Nanometer-scale
Lithography
Fabrication
Surfaces
Devices
Nanostructures