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Method and apparatus for optical coating in wafer fabrication reactors 专利  OAI收割
专利号: US20030185963A1, 申请日期: 2003-10-02, 公开日期: 2003-10-02
作者:  
LIXIANG, JIN;  CHEN, JIANYU MARTIN;  LIM, HWI SIONG;  VICTOR TEO, KIAN HIN;  LAM, YEE LOY
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