中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
机构
采集方式
内容类型
发表日期
学科主题
筛选

浏览/检索结果: 共1条,第1-1条 帮助

条数/页: 排序方式:
Improved metal assisted chemical etching method for uniform, vertical and deep silicon structure 期刊论文  OAI收割
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2017
作者:  
Miao, Bin;  Zhang, Jian;  Ding(张鉴), Xiangzhen;  Wu, Dongmin;  Wu, Yihui
  |  收藏  |  浏览/下载:28/0  |  提交时间:2018/02/05