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金属研究所 [2]
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OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
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2024 [2]
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Unveiling high-temperature stability and growth dynamics of CVD-SiOC coatings across different deposition conditions and environments
期刊论文
OAI收割
Materials Research Express, 2024, 卷号: 11, 期号: 10
作者:
Jing,Weichen
;
Tariq,Naeem ul Haq
;
Hou,Wenkang
;
Xiong,Tianying
;
Tang,Mingqiang
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提交时间:2025/04/27
SiOC coating
CVD
high-temperature stability
high-temperature growth dynamics
Development of low-stress SiC coating on single crystal Si using low elastic modulus SiOC amorphous buffer layer
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2024, 卷号: 631, 页码: 8
作者:
Jing, Weichen
;
Tariq, Naeem ul Haq
;
Wang, Junchao
;
Hou, Wenkang
;
Xiong, Tianying
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提交时间:2025/04/27
SiC coating
SiOC buffer layer
MOCVD
Residual stress
Mechanical property