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Production method of iii nitride compound semiconductor, and iii nitride compound semiconductor element based on it 专利  OAI收割
专利号: WO2002080243A1, 申请日期: 2002-10-10, 公开日期: 2002-10-10
作者:  NAGAI, SEIJI;  TOMITA, KAZUYOSHI;  KODAMA, MASAHITO
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