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6H-SiC blistering efficiency as a function of the hydrogen implantation fluence 期刊论文  OAI收割
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2019, 卷号: 466, 页码: 141-150
作者:  Daghbouj, N.;  Li, B. S.;  Karlik, M.;  Declemy, A.
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