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Diffusion procedure for semiconductor compound 专利  OAI收割
专利号: US4502898, 申请日期: 1985-03-05, 公开日期: 1985-03-05
作者:  
CAMLIBEL, IRFAN;  GUGGENHEIM, HOWARD J.;  SINGH, SHOBHA;  VAN UITERT, LEGRAND G.;  ZYDZIK, GEORGE J.
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