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Effects of Al2O3 on Thermal Stability and Electrical Reliability of HfO2 Film on Strained SiGe 期刊论文  OAI收割
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING, 2011, 卷号: 40, 期号: 8, 页码: 1344-1347
Xu, DP; Wan, L; Cheng, XH（重点实验室）; He, DW; Song, ZR; Yu, YH（重点实验室）; Shen, DS
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An analytical model for coplanar waveguide on silicon-on-insulator substrate with conformal mapping technique 期刊论文  OAI收割
CHINESE PHYSICS B, 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 10210
He, DW; Cheng, XH（重点实验室）; Wang, ZJ; Xu, DW; Song, ZR; Yu, YH（重点实验室）
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/05/10
Interfacial and electrical characterization of HfO(2) gate dielectric film with a blocking layer of Al(2)O(3) 期刊论文  OAI收割
ULIS 2009: 10TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ULTIMATE INTEGRATION OF SILICON, 2009, 页码: 205-208
Cheng, XH（重点实验室）; He, DW; Song, ZR（重点实验室）; Yu, YH（重点实验室）; Zhao, QT; Shen, DS
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The properties of high-k gate dielectric films deposited on HRSOI 期刊论文  OAI收割
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2009, 卷号: 86, 期号: 12, 页码: 2404-2407
Cheng, XH（重点实验室）; Xu, DP; Song, ZR; He, DW; Yu, YH（重点实验室）; Zhao, QT; Shen, DS
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2013/05/10
Characterization of gadolinium oxide film by pulse laser deposition 期刊论文  OAI收割
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2009, 卷号: 256, 期号: 3, 页码: 921-923
Cheng, XH（重点实验室）; Xu, DP; Song, ZR（重点实验室）; He, DW; Yu, YH（重点实验室）; Zhao, QT; Shen, DS
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