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硅中注H~+的退火行为及智能剥离SOI新材料的微结构分析 期刊论文  OAI收割
固体电子学研究与进展, 1998, 期号: 02
张苗; 林成鲁; 陈立凡; 王鲁闽; K.Gutjahr; U.M.Gosele
收藏  |  浏览/下载:39/0  |  提交时间:2012/03/29