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POTENTIAL OF THE FLASH FEL TECHNOLOGY FOR THE CONSTRUCTION OF A KW-SCALE LIGHT SOURCE FOR THE NEXT GENERATION LITHOGRAPHY 会议论文  OAI收割
Proceedings of FEL2009, Liverpool, UK, Liverpool, 2009
作者:  
E.L. Saldin;  E.A. Schneidmiller;  V.F. Vogel;  H. Weise;  M.V. Yurkov
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2017/02/16