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Fabrication of GaN-based ridge waveguides with very smooth and vertical sidewalls by combined plasma dry etching and wet chemical etching 期刊论文  OAI收割
physica status solidi a, Physica Status Solidi A, 2015, 2015, 卷号: 212, 212, 期号: 10, 页码: 2341–2344, 2341–2344
作者:  Wanyong Li;  Yi Luo;  Bing Xiong;  Changzheng Sun;  Lai Wang
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