机构

• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]

学科主题

• 半导体器件 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Fabrication of GaN-based ridge waveguides with very smooth and vertical sidewalls by combined plasma dry etching and wet chemical etching 期刊论文  OAI收割 physica status solidi a, Physica Status Solidi A, 2015, 2015, 卷号: 212, 212, 期号: 10, 页码: 2341–2344, 2341–2344 作者:  Wanyong Li;  Yi Luo;  Bing Xiong;  Changzheng Sun;  Lai Wang   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2016/04/15