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Flexible Pupil Correction Technology for Photolithography Machine 期刊论文  OAI收割
SIXTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL AND PHOTONIC ENGINEERING (ICOPEN 2018), 卷号: 10827
作者:  Zhu Siyu;  Niu Zhiyuan;  Zhang Fang;  Ma Xiaozhe;  Zeng Zongshun
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Angle Position Monitoring Technology of Micro-mirror Array for Freeform Illumination Module in Immersion Lithography 期刊论文  OAI收割
SIXTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL AND PHOTONIC ENGINEERING (ICOPEN 2018), 卷号: 10827
作者:  Ma Xiaozhe;  Zhang Fang;  Zeng Zongshun;  Zhu Siyu;  Zeng Aijun
  |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2018/12/25
An Excellent Performance Optical System for Freeform Pupil Illumination Module in Immersion Photolithography Machine 期刊论文  OAI收割
SIXTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL AND PHOTONIC ENGINEERING (ICOPEN 2018), 卷号: 10827
作者:  Zeng Zongshun;  Niu Zhiyuan;  Zhang Fang;  Ma Xiaozhe;  Zhu Siyu
  |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2018/12/25